国産フッ化水素の適用本格化・・・3ヶ月で日本を超えた
サムスン電子・SKハイニックス、テスト終えて工程を適用
従来の在庫を節約し、輸入先の多角化にも拍車
ラムテクノロジー・ソウルブレインなどフッ化水素を供給

양정미 기자

登録 : 2019-10-01 10:46 | 修正 : 2019-10-01 11:39

[写真=聯合ニュース(先月6日、サムスン電子の天安工場で半導体生産ラインを点検しているサムスン電子の李在鎔副会長)]


日本が半導体用のコア材料に対する韓国の輸出規制を実施してから約3ヶ月が過ぎた。これまで韓国内の半導体業界は材料の国産化と輸入先の多角化を推進するなど対策作りに乗り出し、その結果が続々と可視化されている。

30日、関連業界によると、サムスン電子とSKハイニックスなど国内の半導体企業は一部の国産高純度フッ化水素(エッチングガス)に対するテストを終え、10月から工程に本格的に適用する予定だ。また、これまで保有している材料の「在庫節約」にも集中するなど、事態の長期化に備えている。

先立って去る7月、日本政府はエッチングガス、フォトレジスト、フッ化ポリイミドなど3つの材料品目を包括許可から個別許可対象に変えた。以降、日本はエッチングガスとフォトレジスト、フッ化ポリイミドに対して、それぞれ1件、3件、1件ずつ輸出を許可した。しかし、それ以降は進展がない状況だ。業界は事実上、日本の輸出許可が全面的に行われることは難しいと見て「プランB」作りに速度を出している。

SKハイニックスは最近、半導体用エッチング液・剥離液や電子材料の専門企業であるラムテクノロジーが納品したエッチングガスの内部テストを終えた。10月から工程ラインに本格的に適用する計画だ。

また、11月からはソウルブレインで生産する物量も工程に適用されるとみられる。ソウルブレインは、従来のの第1工場だけでは業界の需要に追いつけず、最近、第2工場を追加で建てた。SKハイニックスは第2工場で生産された量の供給を受けるとした状態だ。
SKハイニックスは、これまで国産化の代替速度を高めるためにテスト過程を簡素化し、中小メーカーとの協力を拡大するなど、全方位的な努力をしてきた。

サムスン電子は国産化だけでなく、「輸入先の多様化」に焦点を当てて工程ライン全般を点検している。SKハイニックスよりキャパ(CAPA・生産能力)が大きいだけに、一度ですべての物量を取り替えることは難しいが、徐々に輸入先の多角化を実現するという方針だ。

サムスン電子は今月初めからソウルブレインとENFテクノロジーが台湾産のフッ化水素を輸入し、加工した製品を一部の量産ラインに試験適用している。また、中国産など海外エッチングガスの内部テストもに地道に進んでいる。サムスン電子は、数年間蓄積された工程ノウハウを基盤に代替材の確保に集中している。

半導体業界の関係者は「サムスン電子は主にトゥエルブナインの高純度エッチングガスを使ってきた」とし、「それより下位レベルを適用して問題が生じた場合、顧客会社との信頼を失うことになるため、様々なテストで代替材を探している」と述べた。

半導体は化合物質の配合割合と種類が少でも違うと、全体の工程に莫大な影響を及ぼす可能性があるだけに、慎重なアプローチが必要だ。そのため、サムスン電子は一部の工程での結果に基づいて様々なテストを行っているという。

また、サムスン電子とSKハイニックスはこれまで保有しているエッチングガスの在庫を節約する作業にも突入した。エッチングガスは半導体工程で回路の形通り削る蝕刻と洗浄工程で主に使用される。 「水のように使う」という言葉があるほど、よく使われる材料だ。両社は在庫の消尽を遅らせ、代替品が完全に工程に適用されるまで時間を稼ぐという計算だ。

業界では、両社がこれまで確保した在庫と新規に入る物量などを合わせると、半導体製造には大きな支障がないと見ている。

半導体業界の関係者は、「国内企業は日本と材料部品などを調達する過程で長い間協力し、信頼できるという認識が強かったが、最近の事態で相当な危機を感じるようになった」とし、「費用がもっとかかっても、取引先の多様化、国産化の割合を高めようという意見が一致し、投資している」と述べた。
 
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