[独自] サムスン、高純度エッチングガスも国産化始動・・・日本の輸出規制撃破
ウォンイクマテリアルズとテスト…来年工程を適用
フッ化水素酸に引き続き、日本独占の核心材料の代替に速度戦

양정미 기자

登録 : 2019-10-18 10:14 | 修正 : 2020-01-10 19:35

[写真=聯合ニュース]


サムスン電子がウォンイクマテリアルズと手を握って高純度フッ化水素(エッチングガス)の国産化に本格的に突入する。

17日、ウォンイクマテリアルズの関係者は、「原料を輸入、合成・精製過程を経て純度を徐々に高めている」とし、「今年、テストを終えて、来年にサムスン半導体ラインに適用される」と述べた。

ウォンイクマテリアルズは、半導体・ディスプレイ用特殊ガスなどを製造・販売するウォンイクグループの系列会社だ。エッチングガスは一部の国産化に成功した液体形態のフッ化水素より製造と扱いが難しく、これまで代替が不可能なアイテムの一つだった。フッ化水素は半導体製造工程の中で、回路パターンの不要な部分を削る「エッチング工程」に主に使用される。フッ酸はウェット(Wet)エッチングに、エッチングガスは、ドライ(Dry)エッチングに使われる。

ウォンイクマテリアルズの関係者は、「液状形態よりガス形態がはるかに作りにくい」とし、「サムスンはセブンナイン(純度99.99999%)からトゥエルブナイン(99.9999999999%)を主に使用しており、そのためウォンイクは純度を高め、テストするコ - 研究開発(CO R&D)を繰り返している」と述べた。エッチングガスは高度の精度を要求するだけに、3〜4ヶ月間のテストプロセスを経て本格的に適用する。

エッチングガスは、日本の昭和電工などがサムスン電子とSKハイニックスに供給してきたという。同関係者は、「日本の企業が主導権を持っているエッチングガスは、5年前には韓国が日本に15年ほど遅れをとったという評価を受けたが、現在は格差を大幅に減らした」と話した。

ウォンイクマテリアルズは、原料の輸入多角化にも集中するという方針だ。これまで日本から主に原料を持ってきたとすれば、今後、中国・台湾・欧州・ロシアなどを活用する計画だ。サムスン電子の関係者は、「国産化だけでなく、多角化に向けて努力している」としながらも、「材料・部品の協力現状については言及できない」と述べた。

SKハイニックスもSKマテリアルズとエッチングガス代替のためにテストを行っており、来年工程に適用する計画だという。日本政府が7月に半導体核心材料に対して輸出規制を強化した後、サムスン電子とSKハイニックスが要請したエッチングガス物量に対してそれぞれ一件ずつ輸出許可が出た。しかし、両社は今後、安定的な調達を確信できないだけに、国内メーカーとの協力を通じて国産化にも乗り出しているのだ。

半導体業界の関係者は、「これまでは日本との強固な協力関係があったため資源、エネルギー、費用を投資して輸入先の多角化や国産化に乗り出す必要がなかった」とし、「しかし、今回の経験を通じて危機を感じただけに、中国など原料輸入を多角化し、直接純度を高める作業に乗り出している」とみた。

 
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